Mesin salutan vakum penyejatan dan pengenalan prinsip fizikal- Ningbo Honyu Vacuum Technology Co., Ltd.

Penyejatan mesin salutan vakum dan pengenalan prinsip fizikal

Mesin salutan vakum penyejatan terutamanya terdiri daripada ruang vakum dan sistem pengepaman vakum. Ruang vakum mengandungi sumber penyejatan (iaitu, pemanas penyejatan), substrat dan pemegang substrat, pemanas substrat, bekalan kuasa, bot penyejatan, dan rod elektrod. Sistem vakum termasuk pengepaman kasar, pengepaman perantaraan, pengepaman halus, dsb., termasuk pam mekanikal, pam Akar, pam resapan atau pam molekul.

Bahan salutan diletakkan di dalam sumber penyejatan dalam kebuk vakum. Di bawah keadaan vakum yang tinggi, sumber penyejatan dipanaskan untuk menyejatkannya. Apabila laluan bebas purata molekul wap lebih besar daripada saiz linear ruang vakum, atom dan molekul wap filem akan tersejat daripada sumber penyejatan. Selepas permukaan sumber terlepas, ia jarang berlanggar dan dihalang oleh molekul atau atom lain, dan boleh terus mencapai permukaan substrat yang akan disadur. Disebabkan oleh suhu substrat yang rendah, zarah wap bahan filem terpeluwap di atasnya untuk membentuk filem.

Untuk meningkatkan lekatan antara molekul tersejat dan substrat, substrat boleh diaktifkan dengan pemanasan yang sesuai atau pembersihan ion. Proses fizikal salutan penyejatan vakum daripada penyejatan bahan, pengangkutan ke pemendapan dan pembentukan filem adalah seperti berikut:

(1) Gunakan pelbagai kaedah untuk menukar bentuk tenaga lain kepada tenaga haba, memanaskan bahan filem untuk menguap atau sublim, dan menjadi zarah gas (atom, molekul atau kumpulan atom) dengan tenaga tertentu (0.1~0.3eV):

(2) Zarah gas meninggalkan permukaan bahan membran dan diangkut ke permukaan substrat dalam garis lurus dengan kelajuan pergerakan yang besar tanpa perlanggaran;

(3) Zarah-zarah gas yang sampai ke permukaan substrat terpeluwap dan nukleus dan berkembang menjadi filem pepejal;

(4) Atom yang membentuk filem nipis disusun semula atau terikat secara kimia.

Mesin salutan vakum harian menggunakan teknologi penyejatan untuk menyalut aluminium, magnesium fluorida, emas, perak, dan lain-lain, kerana ia mempunyai kelebihan takat lebur yang rendah, yang sesuai untuk penyejatan dan pemejalwapan yang cepat.