Merealisasikan keperluan perlindungan alam sekitar dengan
teknologi canggih dan menyelesaikan kekurangan penyaduran air.
Asal mesin salutan vakum ion berbilang arka
Pada masa ini, kebanyakan filem keras yang berfungsi secara mekanikal (terutamanya filem yang digunakan untuk alat pemotong) di dunia menggunakan teknologi pemendapan arka katodik. Prestasi aplikasi; terutamanya masalah zarah peralatan pemendapan arka katodik yang dikeluarkan di dalam negara amat serius. Pengenalan teknologi penapisan magnetik berdasarkan teknologi ini dapat menyelesaikan masalah zarah yang didepositkan di permukaan, tetapi kecekapan pemendapan hanya kira-kira 1/10 daripada asal, dan kawasan pemendapan kecil, supaya kitaran pengeluaran adalah lama, kos pembuatan adalah tinggi, dan ia tidak sesuai untuk salutan massa. aplikasi pengeluaran. Permukaan filem yang disediakan oleh teknologi sputtering magnetron adalah licin dan halus, kadar pemendapan adalah sederhana, dan filem itu boleh disimpan secara seragam di kawasan yang luas. Walau bagaimanapun, teknologi sputtering magnetron juga mempunyai kadar pengionan yang rendah (biasanya 10%), dan filem yang disediakan tidak sebaik filem yang disediakan oleh teknologi arka katodik dari segi kekerasan, rintangan haus dan daya ikatan; salutan reaktif kimia dijalankan. (seperti TiN, TiO2), disebabkan oleh kadar pengionan yang rendah dan kereaktifan zarah logam yang lemah, gas reaktif mesti dimasukkan secara berlebihan, menyebabkan keracunan (tindak balas kimia) permukaan sasaran magnetron, menyebabkan satu siri runtuhan salji seperti pengurangan kadar sejatan. Akibatnya, salutan reaktif sputtering magnetron tidak stabil dan tidak terkawal.
Oleh itu, terdapat mesin salutan vakum ion pelbagai fungsi di pasaran. Melalui sejumlah besar eksperimen dan aplikasi perindustrian, projek itu telah mencapai kesimpulan berikut:
(1) Mesin salutan ion pelbagai fungsi yang direka dengan pelbagai teknologi salutan berjaya, dan prestasi komprehensif sistem salutan yang telah ditetapkan berada di kedudukan utama di China.
(2) Peralatan boleh menyediakan filem berlian seperti filem dan logam nitrogen (atau karbon) kompaun berbilang lapisan filem dengan permukaan licin dan padat, permukaan licin dan halus, dan prestasi cemerlang di kawasan yang besar dan kos rendah.
(3) Penggunaan lapisan peralihan pertengahan kecerunan berbilang lapisan khas dan teknologi doping mengurangkan tekanan dalaman, meningkatkan daya ikatan filem/substrat, dan kondusif untuk pertumbuhan lapisan filem (sehingga 6mm tebal).
(4) Filem DLC yang disediakan mempunyai sifat komprehensif yang sangat baik: kekerasan>20GPa (sehingga 37.25GPa), ketebalan boleh laras (tebal sehingga 6mm), daya ikatan filem/tapak>50N (sehingga 100N), pekali geseran <0.2 , filem licin dan halus.
(5) Matriks/Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN/CrTiC/DLC yang dibangunkan matriks/Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN/CrTiC/DLC berbilang lapisan salutan pelincir diri tahan haus dan tahan haba mempunyai sifat komprehensif yang baik: kekerasan sehingga 28.7GPa, ketebalan boleh laras daripada 1-4mm, dan filem Daya ikatan / asas lebih besar daripada 70N, dan pekali geseran kurang daripada 0.2.
(6) Filem tahan haus dan anti geseran yang dibangunkan telah berjaya digunakan pada pelbagai acuan ketepatan tinggi dan komponen utama ketepatan. Keputusan aplikasi menunjukkan bahawa kesan pengukuhan permukaan lapisan filem adalah luar biasa, yang boleh meningkatkan kualiti produk dan hayat perkhidmatan.
Penyaduran ion berbilang arka memperkenalkan pelbagai mod nyahcas gas ke dalam bidang pemendapan wap di bawah keadaan vakum. Keseluruhan proses pemendapan wap dijalankan dalam proses plasma. Ia boleh disalut bukan sahaja pada permukaan produk logam, tetapi juga pada permukaan produk bukan logam. Ia boleh disalut dengan filem logam, Titanium nitrida, titanium karbida, zirkonium nitrida, kromium nitrida, titanium oksida dan filem lain.