MODEL | HY-1214 | HY-1416 | HY-1618 | HY-2020 |
SAIZ DEWAN | Ø1200*1400mm | Ø1400*1600mm | Ø1600*1800mm | Ø2000*2000mm |
STRUKTUR DEWAN | Pintu tunggal menegak, pintu tunggal mendatar, pintu berkembar menegak | |||
KAEDAH SALUT | Ion dengan teknologi berat sebelah | |||
VACUUM MUKTAMAD | 8.0*10-4Pa (beban kosong) | |||
MASA VACUUM | Beban kosong dari atmosfera ke 5.0E-2 kurang daripada 15min | |||
BAHAN PENGGUNAAN | Titanium, kromium, zirkonium, besi, titanium & aloi aluminium, semua jenis sasaran sputtering MF dan DC. | |||
WARNA LALUTAN | lut sinar, emas, perak, emas mawar, hitam, hitam gelap, hijau, biru, ungu, pelangi, TiN, ZrN, TiAlN, TiC, TiCN, CrN, Al2O3, dll | |||
KAEDAH KAWALAN | Auto penuh, separa auto, manual, skrin sentuh PLC | |||
KEPERLUAN KHAS | Disesuaikan |